半導體行業(yè)超純水去“硼”是關鍵
時間：2022-10-17
半導體的生產需要經過8個主要工序。超純水主要用于半導體制造中某些工序前后的清洗。例如，在蝕刻工藝之后，切割晶圓并用超純水清洗殘余碎片。或者，在離子注入過程之后，清潔殘余離子。此外，超純水還可用于晶圓拋光或晶圓切割。
超純水是一種用于半導體制造過程中的洗滌劑。那么，在半導體生產中使用超純水會有什么影響呢?在用納米超精細工藝處理半導體時，如果在各種工藝前后留下一個小顆粒，則會導致誤差。因此，在各種工藝前后用超純水清洗晶圓可以確保清潔度并提高半導體生產率(輸出)。
隨著半導體工業(yè)的不斷發(fā)展，對清潔水的電導率、離子含量、TOC、do和顆粒物的要求越來越嚴格。由于超純水在許多指標上對半導體的要求很高，因此半導體行業(yè)的超純水與其他行業(yè)的用水要求不同。半導體行業(yè)對超純水有極其嚴格的水質要求。目前，我國常用的超純水標準有國家標準《電子級水》(GB/T 11446.1-2013)和美標。
在半導體生產過程中，硼是一種p型雜質。過量會使n型硅反轉，從而影響電子和空穴的濃度。因此，在超純水工業(yè)中應充分考慮硼的去除。硼離美標中e1.3中要求小于0.05。如果硼離子含量能夠達到較低的指標，則必然會提高半導體的性能。
Huncotte系統選用核級樹脂，可通過獨特的靶向離子交換樹脂有效控制系統出水的硼離子含量。采用IPC-MS檢測硼離子含量，并對硼離子流出物進行分析≤ 0.005μG/L遠低于美標E1.3中要求的硼離子含量。
公司新聞new
- 沿海地區(qū)工業(yè)用水應用海水淡化設備的優(yōu)勢
- 反滲透膜法推動海水淡化發(fā)展 緩解淡水資源危機
- 海水淡化系統成為破解淡水資源短缺的關鍵技術
- 超純水設備成為夯實半導體產業(yè)鏈的關鍵力量
- 電子產品品質保障的關鍵：工業(yè)超純水設備
- 濃縮分離設備成為制藥行業(yè)的革新力量
- 廢水零排放系統為制藥行業(yè)實現綠色發(fā)展提供有力支持
- 化工廢水處理與回用技術：實現可持續(xù)發(fā)展的關鍵
- DTRO垃圾滲濾液處理設備成為垃圾滲濾液處理的破局之道
- 遠洋航行的船舶 海水怎樣變淡水？
工程業(yè)績new
- 某沿海城市的海水淡化項目案例分析
- 山東某精細化工廠高濃度有機廢水處理項目
- 高效除鐵錳過濾系統在海水淡化項目中的應用
- Aproclean系列智能高效過濾系統優(yōu)勢介紹
- 某海島集裝箱海水淡化設備項目
- 內蒙古某火力電廠廢水近零排放項目
- 大連某印染公司中水回用項目
- 500m3/h中水回用及部分零排放系統
- 山西某燃煤電廠中水回用項目
- 青島某電廠安裝集裝箱海水淡化系統現場
關于我們
工程業(yè)績
獲取方案
電話咨詢 